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李明吉; 吕宪义; 孙宝茹; 金曾孙;
中国仪器仪表学会;
中国金属学会;
中国稀土学会;
中国复合材料学会;
中国有色金属学会;
金刚石膜; 氮气; 生长速率; 膜品质; EA-CVD方法;
机译:通过微波等离子体CVD在C-H-O-N气相系统中进行超光滑和疏水的氮气掺入超晶金刚石膜生长
机译:氢和氮气氛对反应性脉冲激光沉积超纳米晶金刚石/非晶碳复合膜生长的影响
机译:衬底自偏压和氮气流量对反应溅射非极性AIN膜生长的影响
机译:厚金刚石膜的生长和钎焊金刚石膜切削刀具的制作
机译:类金刚石碳膜和金刚石膜的生长和特征:原子氢束的作用和电子场发射的研究。
机译:通过磁控溅射中氮流量的氮气流量调节的Ti-Zr三元氮化物薄膜的结构组成和等离子体特性
机译:氮气掺入的超晶金刚石和多层石墨烯样杂交碳膜
机译:通过微波等离子体辅助化学气相沉积在高温下高生长率同质外延金刚石膜沉积
机译:金刚石膜和在非金刚石基底上生长金刚石膜的方法
机译:核生长金刚石膜的方法及其所成核的金刚石膜
机译:变更影响研究支持程序,变更影响研究支持设备和变更影响研究支持方法
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