氢气流量对金刚石膜生长的影响研究

摘要

研究了电子辅助热灯丝法生长金刚石厚膜过程中氢气流量对沉积速度和膜品质的影响. 随氢气流量从100增加到750 cm3/min, 金刚石膜的沉积速率单调上升, 但金刚石膜品质不断下降, 从750到1 000 cm3/min, 金刚石膜沉积速率下降, 但金刚石膜品质随氢气流量增加而提高. 拉曼光谱和电子顺磁共振谱研究发现, 在所制备的金刚石膜中含有替代形式的氮, 氮含量随氢气流量的增加而减小, 1 000 cm3/min流量下沉积的金刚石膜的含氮量仅为100 cm3/min流量下沉积的金刚石膜的1/40.