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MEMS薄膜等效应力梯度在线提取方法的研究

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本文提出了一种利用静电作用下悬臂梁的吸合电压提取薄膜沿厚度方向的等效应力梯度的方法,实际模拟表明该方法计算速度快、精度高,能够应用于实际工艺过程中的在线测量.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|367-369|共3页
会议地点大连
作者
戎华; 王鸣;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体器件制造工艺及设备;实验应力分析;
关键词
悬臂梁; 吸合电压; 等效应力梯度; MEMS薄膜; 在线提取;

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