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电铸金刚石-镍复合膜微观应力分析

摘要

本文介绍了用X 射线衍射法(XRD)测量多晶体微观应力的基本原理,用单波法计算了电铸金刚石-镍复合膜的显微应变,并用扫描电镜(SEM)观察了该复合膜的表面形貌.结果发现:在实验所用电流密度范围内(0.6-3.5 A/dm2),随着电流密度的增加,显微应变减小.

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