高级别洁净室的设计及有关问题

摘要

本文对高级别洁净室的设计及有关问题进行了探讨。文章围绕高级别洁净室的应用、洁净室的送风方式、洁净室的空调负荷特点和节能、洁净室的静电危害和防静电、洁净室的废气排放和废气治理、洁净室的消防和排烟、洁净室分子级化学污染物的控制进行了论述。