CVD金刚石膜的磨耗比特性

摘要

CVD金刚石膜的磨耗比在E-Mj平面上是一块"鸭"状域,而不是一条水平带状域.其"鸭"状曲线随测试过程而定,且与试样的大小,制作过程,对磨压力、顺序和位点有关。