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IC工厂超纯水系统典型流程及主要操作要求

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本文根据某工厂制备18.2MΩ以上的纯水站为例,介绍纯水生产过程中各个设备的基本功能以及主要操作要求.

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来源
《第十八届国际污染控制学术会议》|2006年|1425-1433|共9页
会议地点北京
作者
侯忆; 杨飞;
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作者单位

中国电子学会;

中国制冷空调协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类洁净技术;
关键词
超纯水系统; 典型流程; 主要操作;

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