GaAs平面PIN二极管单刀单掷开关单片

摘要

采用GaAs平面PIN二极管,完成DC~26.5GHz的单刀单掷开关的设计、制作.宽带单刀单掷开关单片带内差损小于0.5dB,26.5GHz处隔离度22dB.开关单片采用离子注入技术的GaAs平面工艺加工制作.

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