超声喷雾法制备大面积SnO2:F薄膜的设备及工艺研究

摘要

本文对基于超声喷雾热分解工艺的大面积SnO2:F薄膜的制备技术进行了研究,并实现了200mm2×200mm2大面积的均匀镀膜.同时对超声喷雾热分解工艺制备大面积SnO2:F薄膜做了工艺探索,分别研究了温度、掺杂比、酒精含量、载气流量和喷射距离等工艺参数对薄膜性能的影响;并将实验制得的薄膜用于制备非晶硅薄膜电池,其效率达到了5.96﹪.本文同时介绍了以薄膜太阳电池用的掺氟二氧化锡透明导电膜为实例,介绍了制备大面积透明导电膜主要设备.