基于LabVIEW的氦质谱检漏仪监控系统设计

摘要

本文基于LabVIEW开发平台,设计了应用于氦质谱检漏仪的监控系统.利用计算机、数据采集卡和单片机,实现了数据存储功能,达到了自动控制检漏仪的部分动作的目标.该系统提高了氦质谱检漏仪的自动化水平,提高了真空系统检漏的效率。