热处理工艺对ZrW2O8薄膜组成与形态的影响

摘要

本文研究了热处理温度与处理过程中通氧条件对ZrW2O8薄膜组分与形态的影响。XRD和SEM分析结果表明：随着热处理温度的升高薄膜由非晶态转变为晶态,转变初期薄膜表面凹凸不平,随着ZrW2O8含量的增加,薄膜变得致密且品粒细小,未通氧时经750℃处理的薄膜组成中ZrW2O8含量量大,温度继续升高,则ZrW2O8逐步分解直至消失,薄膜在熟处理过程中通入氧气量达到1.25 sccm后,能使薄膜ZrW2O8含量增加,晶化效果更好,并且使最佳热处理温度降低。