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王琦; 顾书林; 施毅; 张荣; 王荣华; 夏冬梅; 郑有炓; 韩平; 俞慧强; 谢自力; 修向前; 朱顺明;
中国电子学会;
化学气相沉积法; 碳化处理; 外延层; 薄膜生长; 电学性质;
机译:AlGaN缓冲层对6H-SiC(0001)分子束外延生长的GaN外延层双轴应变的影响
机译:SiC缓冲层生长温度对GaN / SiC / Si薄膜残余应变的影响
机译:埋入式低温AlN应变弛豫层对(110)Si衬底上通过氨分子束外延生长的GaN薄膜的应变状态和缓冲特性的影响
机译:SiC低温缓冲层对AlN / Si(110)上SiC外延生长的影响
机译:纳米图案化硅上金属有机气相外延生长的(211)B碲化镉缓冲层的生长和表征,用于基于碲化汞的红外探测器。
机译:通过自组装的PtSe2缓冲层在SiO2 / Si上可扩展外延生长WSe2薄膜
机译:用于M / NEMS应用的AlN缓冲层上生长的多晶3C-SiC薄膜的特征
机译:siC衬底上生长的外延3C-siC,4H-siC和6H-siC薄膜缺陷的研究
机译:表面改性单晶SiC衬底,具有外延生长层的单晶SiC衬底,半导体芯片,用于物种衬底的单晶SiC生长和单晶生长层多晶SiC衬底的制造方法
机译:sic的enkristall,生产sic的sic,sic的方法-带外延层的记录,制造具有外延层的sic盘的方法以及基于sic的电子设备
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