无反应直流溅射中功率对ZnO:Al薄膜光电性能与形貌的影响

摘要

采用氧化锌铝陶瓷靶材,在室温下使用无氧直流磁控溅射法于载玻片衬底上制备了ZnO:Al透明导电薄膜,研究了溅射功率对薄膜微观结构、电阻率和透光率的影响。结果表明：薄膜具有六方纤锌矿结构并沿c轴择优取向生长,沉积速率与溅射功率呈准线性关系.溅射功率对薄膜的电阻率和表面形貌有显著影响,当功率为80W和120W时,薄膜的电阻率值为7.2×10-3Ω·cm和2.3×10-3Ω·cm,表面形貌分别为光滑与织构化。但溅射功率对薄膜的透光率影响不大,薄膜在可见光区的平均透光率均在90％左右.