氮气流量对CuInS2薄膜微结构的影响

摘要

采用硫化法制备出具有多晶结构的光吸收层CuInS2薄膜,研究了硫源处N2流量对CuInS2薄膜微结构的影响。利用SEM和EDS观察和分析了它们的表面形貌和成分,采用XRD表征了薄膜的结构。结果表明：N2流量增大到600ml/min制得具有黄铜矿结构且沿(112)晶向择优生长的CuInS2薄膜,晶粒尺寸为230nm。