基于MEMS的微机械谐振器/滤波器的建模与仿真

摘要

本文简述了微机械式谐振器/滤波器的结构及原理，在分析了其主要特征参数后提出了基于LCR滤波器的微机械式滤波器设计方法。并且以此建立微机械式谐振器/滤波器模型。以有限元分析软件ANSYS为工具，对其进行了模态分析，揭示了谐振器的静、动态特性，验证了基于LCR滤波器的微机械式滤波器设计的合理性，有助于提高设计的效率和质量。