用蘸水笔纳米光刻术制备CO2气体传感器

摘要

本文用光刻术在氧化硅表面制备间距为3um的电极,再用蘸水笔纳米光刻术将导电的掺杂聚吡咯转移到两电极之间形成厚度上只有8nm的气体传感器。该传感器对CO2有较高的检测灵敏度,当浓度为18ppmCO2的响应时间只有9s,响应强度随CO2浓度增加而线性递增,有望作为CO2气体传感器。