Pd掺杂SnO2厚膜CO2气体传感器的制备及其气敏特性研究

摘要

当前CO2的过度排放引发了一系列的环境问题,CO2的检测技术成为气体传感器研究领域的热点.半导体气敏传感器是气体传感器研究的主流方向之一,其中丝网印刷法是制备厚膜传感器的最常见的方法.本文采用纳米SnO2作为主要的气敏材料,制备了不同Pd掺杂含量的SnO2浆料,然后采用丝网印刷法制备了SnO2厚膜CO2气体传感器.研究发现,当Pd的含量为SnO2的1％(质量分数)时,传感器在258℃工作温度下,对CO2有最大的响应值1.98.该传感器能够检测的CO2浓度下限为1000ppm,其响应值随着CO2浓度的升高而增大.