高掺硼多晶金刚石薄膜的制备与表征

摘要

本文用热丝化学气相沉积方法以si(100)为衬底制备了不同掺硼浓度的高掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对薄膜进行了检测.扫描电子显微镜观察了不同掺硼浓度对薄膜表面形貌的影响.拉曼光谱分析了金刚石一阶拉曼特征峰1332cm-1随着掺硼浓度的变化以及运用峰位的漂移计算薄膜的内应力.同时还分析了金刚石薄膜拉曼光谱中500cm-1和1220cm-1附近的宽峰随掺硼浓度的变化情况.