不同工艺条件对双极晶体管ELDRS效应的影响

摘要

本文对具有相同制作工艺但NPN管的发射极面积不同,及LPNP管发射极掺杂浓度相异的两种不同类型的国产双极晶体管,在不同剂量率下的辐射效应和退火特性进行了研究.结果发现:晶体管类型不同,对高低剂量率的辐照响应也相异;不同发射极面积的HPN管的结果显示,发射极面积越小,损伤越大;而不同掺杂浓度的LPNP管的结果则表明,轻掺杂的发射板比重掺杂的具有更高的辐射敏感性.本中对造成各种实验现象的损伤机理进行了较详细的分析.