衬底晶向对NPN双极晶体管ELDRS效应的影响

摘要

对具有相同制作工艺但NPN管的衬底晶向不同的两种国产NPN双极晶体管，在不同剂量率下的辐射效应和退火特性进行了研究。结果显示：两种工艺的NPN晶体管均有明显的低剂量率辐照损伤增强效应。在高低剂量率辐照下，不仅过剩基极电流明显增大，直流增益迅速下降，其集电极电流也随辐照总剂量的增加而逐渐衰减。且衬底晶向为<111>的NPN管，比晶向为<100>的晶体管对电离辐照更敏感。本中对造成各种实验现象的损伤机理进行了分析。