铸锭中的杂质缺陷类型对多晶硅片切片损失影响的研究

摘要

铸锭中存在着氧,氢,金属杂质,位错,晶界等缺陷类型,根据这些杂质缺陷类型,研究它们对切片过程中产生不良品的影响,在硅片生产中避免它们对切片带来的危害,从而提高多晶硅片的出片率,提高经济效益。