扫描探针显微镜刻蚀技术

摘要

@@19世纪80年代初期，扫描探针显微镜(SPM)因首次在实空间展现了硅表面的原子图像而震动了世界。从此，SPM在基础表面科学，表面粗糙度分析和从硅原子结构到活体细胞表面微米尺度的突出物的三维成像等学科中发挥着重要的作用。