WTiN薄膜的合成及其结构和性能的研究

摘要

本文选择钨钛作为靶材,利用超高真空射频磁控溅射系统制备WTiN薄膜，通过XRD、表面轮廓仪和纳米力学测试系统分析了该体系合成中工作气压和Ar/N2气体比例对薄膜结构与机械性能的影响。研究结果表明：当FAr:FN2=3时,工作气压为0.5 Pa条件下,WTiN单质薄膜的硬度和弹性模量达到最大值31.5和368.6 GPa,薄膜的各项性能达到最佳，表明工作气压和Ar/N2气体比例对薄膜体系的机械性能具有直接的影响。