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基于扩散效应的膜/基传感器弯曲分析

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微电子机械系统在化学和热效应方面的应用越来越广泛,尤其是在短时间内侦测低浓度物质方面.微电子传感器的数据一般通过测量悬臂粱的偏差来获取.本文推导出双层悬臂粱结构中的扩散致弯曲曲率的闭合解.以Fick定律为基础,考虑了扩散和扩散致应力的相互作用,计算并分别讨论两层厚度比、弹性模量比、扩散率比对膜/基结构传感器弹性变形的影响.

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来源
《第七届全国压力容器学术会议》|2009年|481-484|共4页
会议地点无锡
作者
Shan-Shan Shao; 邵珊珊; Fu-Zhen Xuan; 轩福贞; Zhengdong Wang; 王正东; Shan-Tung Tu; 涂善东;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TM938.86;
关键词
微电子机械; 传感器; 悬臂粱结构; 弯曲曲率;

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