基于软磁多层膜交流阻抗效应的新型力敏传感器研究

摘要

研究内容：应力阻抗效应是指软磁材料的交流阻抗在外力的作用下发生显著变化的现象，利用应力阻抗效应可制作各种高灵敏度、响应速度快的新型力敏传感器，如压力传感器、加速度传感器等，在自动控制、汽车电子、航空航天和机器人技术等领域中有巨大的应用前景。本项目采用磁控溅射制备了软磁FeSiB薄膜和FeCuNbCrSiB薄膜，研究了薄膜的制备工艺和退火工艺对薄膜的微结构、磁性的影响；