超长聚合物阵列波导延迟线器件研究

摘要

本文利用紫外光刻技术，设计制备了一种结构新颖的超长紫外固化聚合物螺旋型阵列波导延迟线器件，这种特色设计是由不同的1×N波导分束器、低损耗余弦S弯曲波导连接器及相邻波导间距为常量ΔR的180°阵列弯曲波导结构组成，可实现1550nm光信号1.4ns至6.6ps的延时增量。rn 基于三维半矢量束传播方法(BPM)，对不同曲率半径的波导弯曲损耗进行了模拟分析，优化了波导的结构特性及制备过程，并测试获得了器件的近红外场导模输出信号，这项新技术将十分适合无“波束偏斜”宽带相控阵列雷达的应用。