基于MEMS技术的低频微型矢量水听器技术研究

摘要

本文将MEMS技术用于矢量水听器的设计与研制中，介绍了以微机械加工技术为基础的矢量水听器的工作原理与设计方法，具体分析了检测单元MEMS敏感芯片微机械结构设计及工艺实现方法等，对二阶系统悬臂梁结构进行了建模分析，在理论分析的摹础上，研制了基于MEMS技术的三维同振柱型压阻式组合矢量水听器，并给出了矢量水听器的声性能测试结果。