MEMS微加速度计读出电路及其前置放大器的设计

摘要

本文提出了一种基于开关电容技术的 MEMS微加速度计读出电路的设计方案。这种电路结构将变化的电容信号转化为电压信号，实现了差分式电容微加速度计的信号读出。另外，设计了高增益低噪声的前置放大器，并针对低噪声的要求，进行了噪声特性分析，提出了减小噪声的措施。这种读出电路可以完全消除寄生电容的影响并且不需要复杂的驱动电路，其输出能够直接被A/D转换器数字化而不需要抗混叠滤波。作为一种数据采样技术，特别适合集成电路的设计。