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刘世国; 彭春荣; 陈贤禅; 夏善红;
中国仪器仪表学会;
中国电子学会;
中国航空学会;
中国生物医学工程学会;
微机械加工技术; 微型静电场传感器; 系统设计; 测试精度; 分辨率;
机译:使用微型温度传感器的原位晶圆温度测量控制:第二篇报告,采用MEMS技术的传感器的试制
机译:基于MEMS技术的微孔静电场磨
机译:基于微型制造的人造电池膜传感器离子通道芯片的研制
机译:用于多瓣扫描形状测量的传感器装置的研制应用MEMS技术(第5部分) - 平面测量装置的模型和结构分析
机译:利用激光微加工和MEMS技术设计和制造压电微型发电机。
机译:基于MEMS技术的基于非晶线的微型GMI磁传感器的设计与制作
机译:使用MEMS技术制造的螺线管线圈的微型浮雕传感器
机译:原型微型磁力计车辆传感器的研制
机译:利用MEMS技术的中空型微型探针的制造方法以及由此的微型探针
机译:使用基于表面声波(SAW)的微型传感器的无线测量设备以及使用基于锯齿的微型传感器的方法
机译:基于MEMS技术的温度传感器及其制造方法
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