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基于MEMS技术的微型传感器

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摘要

和传统的传感器相比,微型传感器具有许多新特性,它们能够弥补传统传感器的不足,具有广泛的应用前景,越来越受到重视.文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理,说明了微型传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势.

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来源
《仪表技术与传感器》|2005年第9期|4-5,12|共3页
作者
李学东; 余志伟; 杨明忠;
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作者单位

武汉理工大学机电工程学院,湖北,武汉,430070;

武汉理工大学机电工程学院,湖北,武汉,430070;

武汉理工大学机电工程学院,湖北,武汉,430070;

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正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
MEMS技术; 微型传感器; 特点; 智能化; 多功能化;

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