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MEMS集成微系统的发展趋势

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对基于微机电系统(简称MEMS)集成维系技术做了简要概述,主要介绍了MEMS的惯性器件、雷达导引头、微能源技术的发展趋势,总结了微型干扰机、微型飞行器、空间微系统和MEMS传感器网络这四种MEMS集成微系统的应用、主要技术性能和技术发展趋势.

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来源
《2010微系统技术发展研讨会》|2010年|72-83|共12页
会议地点贵阳
作者
JI Xing-qiao; 季兴桥; MAO Xiao-hong; 毛小红; XU Bing; 许冰;
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作者单位

《中国电子科学研究院学报》杂志社;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电子设备;
关键词
航空航天工程; 微机械电子系统; 性能表征; 加工工艺;
入库时间 2022-08-17 10:43:04

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