单片集成三轴加速度传感器

摘要

单片集成三轴加速度传感器基于硅压阻效应原理,通过双惯性质量块和六梁结构组成敏感结构,其中四个L型梁对称布置支撑用来测量X轴和Y轴加速度;两组中间的对称双梁测量Z轴加速度,通过工艺兼容技术,在同一芯片制作MEMS敏感结构和CMOS信号处理电路.对所研制出的单片集成三轴加速度传感器进行了性能测试,测试结果满足设计要求.具有体积小、可靠性高、易于批量生产等优点,能够广泛应用于导航系统、汽车工业以及消费电子产品等领域.