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用于显示技术的TFT及其沟道层IGZO的研究现状

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对作为显示面板主流技术的薄膜晶体管(TFT)的发展现状及IGZO薄膜的研究现状做了综述.对IGZO薄膜的制备方法、研究工作、优势及需要解决的问题进行了分析.并对比硅材料制备的薄膜晶体管阐述了IGZO薄膜晶体管的优势.

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来源
《第九届冶金工程科学论坛》|2010年|272-275|共4页
会议地点北京
作者
Wang Yuanyuan; 王媛媛; Ma Ruixin; 马瑞新;
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作者单位

北京科技大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN321.5:TN304.21:TN304.05;
关键词
显示技术; 薄膜晶体管; 铟镓锌氧化物; 制备工艺;

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