PBS法测量Ti膜中H同位素深度分布

摘要

本文在Mo底衬上制备了约5μm的3个TiDxTy样品,用质子背散射(PBS)法分析了D、T在Ti膜中的深度分布,其中,T的分析能得出较为准确的结果,而D的分析结果受质子在Mo底衬中多次散射信号的影响偏差较大。分析结果表明,PBS法测量的T含量和浓度与样品制备过程中测量的结果一致,且T在Ti膜中分布均匀.这证明PBS法可用于对材料中T浓度与分布的分析。