超高速气体静压轴承电主轴的轴承和转子动态特性的研究

摘要

目前在国民经济的多个领域,尤其是在电子制造和精密超精密加工领域,例如印刷电路板微小孔钻削加工、硅片的切割与研磨、内圆磨削、光学零部件的加工等,超高速气体静压轴承电主轴正在发挥着越来越重要的作用,而且最高转速正在从每分钟十几万转到几十万转的方向发展,亦即有可能工作在多阶临界转速以上.但是，超高速气体静压轴承电主轴在实际应用中出现的很多问题值得人们深思。要研究气体静压轴承在超高转速作用下特性的变化，在超高转速下承载气膜和转子的流固耦合振动机理及其非线性行为，电机后置这种布局的超高速气体静压轴承电主轴的动态稳定性，高供气压力下超高速气体静压轴承电主轴的性能。