RF-PECVD法制备柔性衬底非晶硅锗薄膜太阳电池

摘要

采用射频等离子体辅助化学气相沉积(RF-PECVD)技术制备了一系列玻璃衬底上的非晶硅锗薄膜及不锈钢柔性衬底上的非晶硅锗单结太阳电池。对非晶硅锗薄膜进行了拉曼散射谱的研究，指认了主要的散射峰位。对不同锗含量的非晶硅锗太阳电池，研究了不同沉积温度对其开路电压的影响，确定了合适的本征层沉积温度。并在本征层中采用了简便易行的带隙渐变设计，在AM0光谱条件下获得了填充因子达到0.64、光电转换效率超过6％、且具有较好均匀性的柔性非晶硅锗单结薄膜太阳电池。