色散纵向耦合声表面波滤波器的FEM/BEM模拟

摘要

FEM/BEM作为一种通用且精确的声表面波器件分析方法已被广泛认同，但FEM/BEM方法存在计算量大的缺点，限制其在滤波器分析上的应用。为加速FEM/BEM算法，本文提出了通过对格林函数进行分段多项式拟合和快速的递推结合的方法，同时兼顾速度和精度。最后，针对一种色散DMS结构实例，本文给出了分别采用FEM/BEM方法和传统COM方法得到的仿真结果，并且均与实验结果比较。