裂解Se源及在沉积CIGS薄膜中的应用

摘要

普通Se源提供的硒蒸气主要由活性较低的Sen大原子团构成(n>5)，不利于生长高质量的CIGS薄膜。理论计算表明，等离子体裂解Se源和热裂解Se源均可以提供足够的能量使Sen大原子团裂解为高活性的Se2或Seo实验证明：高活性的硒蒸气在薄膜表面和内部扩散得更快，促进了其与金属元素之间的反应，抑制了薄膜中Se空位的形成，尤其改善了低温沉积CIGS薄膜的结晶质量和电学性质，提高了CIGS薄膜太阳电池的效率。因此，裂解Se源在低温沉积聚酰亚胺(PI)衬底CIGs薄膜太阳电池的研究领域具有很好的应用前景。