裂解硒技术及在CIGS薄膜太阳电池中的应用

摘要

普通Se源提供的硒蒸气主要由活性较低的Sen大原子团构成(n≥4),这不利于生长高质量的CIGS薄膜.理论计算表明,等离子体裂解Se蒸气技术和热裂解Se蒸气技术均可以提供足够的能量使Sen大原子团裂解为高活性的Se2或Se.实验证明,裂解Se技术显著降低了CIGS薄膜生长过程中Se原料的使用量.高化学活性的硒蒸气使生长CIGS薄膜的动力学过程发生变化,显著改善了低温沉积ClGS薄膜性质,在一定程度上提高了相应的电池性能.因此,裂解Se蒸气技术在聚酰亚胺(PI)衬底ClGS薄膜太阳电池的研究及组件产业化领域具有很好的应用前景.