镶嵌于SiC中的纳米硅的制备及光电性质研究

摘要

通过对等离子体增强化学气相沉积法制备出的非晶碳化硅膜的微结构和光学特性进行了研究，发现结构和化学键组态的变化对其光学特性的影响很大，在原来工作的基础上，进一步对系列非晶碳化硅的电导率随温度的变化关系进行了研究，通过热退火获得了纳米硅镶嵌在碳化硅结构，研究了其结构及光学、电学特性。