残余气体对氧化锌阴极场发射特性的影响

摘要

文章采用四极质谱实时分析的方法研究了纳米场发射阴极器件在工作过程中的放气特性。研究结果表明：纳米氧化锌阴极工作时器件内部的残余气体主要成分为H2，CO2和CO，还有少量的CH4。发现了氧化锌阴极的开启场强和阈值场强的增加与器件内残余气体的压强之间呈现指数上升的趋势。利用发现的规律可以评估残余气体环境压强对氧化锌阴极场发射特性的影响。