TiZrV吸气剂薄膜的性能研究

摘要

采用独立设计组装的磁控溅射装置完成了对不锈钢管道的镀TiZrV薄膜处理。对TiZrV薄膜的相关性能包括二次电子产额(SEY)、光致解吸(PSD)产额和吸气性能进行了研究。在200℃下加热2h后TiZrV的SEY有所下降，峰值由2.03降到1.55。不锈钢真空室在镀TiZrV薄膜处理后其PSD效应显著降低，在200℃下加热24h后，各气体的PSD产额与初始值相比可降低两个量级左右。TiZrV薄膜对CO和H2有较好的吸气效果，相同激活条件下对CO的抽速比H2高一个量级，吸气容量则较之低两个量级;另外，随着加热温度的提高和时间的延长，其吸气能力会有所提高。