热流微机械陀螺仪检测电路

摘要

热流微机械陀螺具有结构简单、量程大、抗冲击能力强等优点，在军民领域具有广泛的应用前景。但与其他MEMS 传感器一样，热流微机械陀螺仪敏感结构的输出信号微弱，信号检测难度大。论文介绍基于调制解调原理的热流微机械陀螺仪测控电路的设计；热流微机械陀螺仪数字接口的设计。试验表明，采用论文所述技术实现的热流微机械陀螺仪的标度因数为0.49 mV/(o·s-1)，标度因数非线性为1.03%，标度因数对称性为3.49%，零偏稳定性为2.17 s /。