BS 10/30211454 DC BS EN 62047-13. Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 13. Bend- and shear- test methods of measuring adhesive strength for MEMS structures

英国标准EN 62047-13 半导体器件微型机电设备第13部分测量MEMS结构粘接强度的弯曲和剪切试验方法

基本信息

标准号

BS 10/30211454 DC

标准状态

现行

发布单位或类别

英国-英国标准学会(GB-BSI);

发布日期

实施日期

废止日期

CCS分类

ICS分类

研制信息

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摘要

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