公开/公告号US11215926B2
专利类型
公开/公告日2022-01-04
原文格式PDF
申请/专利权人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD.;
申请/专利号US201816108645
申请日2018-08-22
分类号G03F7/06;G03F7/004;G03F7/033;C07D333/76;C07D327/08;G03F7/32;C07D339/08;G03F7/039;C07C381/12;C07C323/64;
国家 US
入库时间 2022-08-24 23:11:08