公开/公告号US2021395913A1
专利类型
公开/公告日2021-12-23
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201917309214
发明设计人 STEPHEN J. BANIK II;AARON BERKE;GABRIEL HAY GRAHAM;GREGORY J. KEARNS;LEE PENG CHUA;BRYAN L. BUCKALEW;
申请日2019-11-15
分类号C25D5/08;C25D17;C25D21/10;
国家 US
入库时间 2022-08-24 22:59:42