公开/公告号WO2020106590A1
专利类型
公开/公告日2020-05-28
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号WO2019US61853
发明设计人 BANIK II STEPHEN J.;BERKE AARON;GRAHAM GABRIEL HAY;KEARNS GREGORY J;CHUA LEE PENG;BUCKALEW BRYAN L.;
申请日2019-11-15
分类号C25D5/08;C25D17;C25D17/02;C25D17/06;H01L21/288;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 11:11:02