公开/公告号US2021389365A1
专利类型
公开/公告日2021-12-16
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号US202117460947
发明设计人 PATRICIUS ALOYSIUS JACOBUS TINNEMANS;PATRICK WARNAAR;VASCO TOMAS TENNER;MAURITS VAN DER SCHAAR;
申请日2021-08-30
分类号G01R31/265;
国家 US
入库时间 2022-08-24 22:51:42