公开/公告号US2021325174A1
专利类型
公开/公告日2021-10-21
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号US202117314469
发明设计人 PATRICIUS ALOYSIUS JACOBUS TINNEMANS;VASCO TOMAS TENNER;ARIE JEFFREY DEN BOEF;HUGO AUGUSTINUS JOSEPH CRAMER;PATRICK WARNAAR;GRZEGORZ GRZELA;MARTIN JACOBUS JOHAN JAK;
申请日2021-05-07
分类号G01B11/25;G03F7/20;G02B27/42;G03H1;G03H1/04;
国家 US
入库时间 2022-08-24 21:49:07