公开/公告号US11125806B2
专利类型
公开/公告日2021-09-21
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号US201916527142
发明设计人 PATRICIUS ALOYSIUS JACOBUS TINNEMANS;PATRICK WARNAAR;VASCO TOMAS TENNER;MAURITS VAN DER SCHAAR;
申请日2019-07-31
分类号G01R31/265;
国家 US
入库时间 2022-08-24 21:09:29